Projection lithography using soft x-rays
J. E. Bjorkholm, R. D'Souza, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, A. A. MacDowell, W. M. Mansfield, J. Pastalan, L. H. Szeto, D. Taylor, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood
FB2 OSA Annual Meeting (FIO) 1991 View: PDF